Die UHV-Anlage dient der Ausgasuntersuchung von Werkstoffen oder Bauteilen die in der Raumfahrt oder in Vakuumanlagen eingesetzt werden sollen. Sie ist eine Ergänzung zur Micro-VCM Anlage, in der nur irreversible Tests von einzelnen Materialien möglich sind. Bespiele für untersuchte Bauteile sind Motoren, Leiterplatten, Heizer oder Kameraobjektive. Zudem kann der Erfolg von Reinigungsprozeduren untersucht werden, indem Werkstoffe oder Bauteile nach jeweils erfolgten Reinigungsschritten in der UHV-Anlage getestet werden.
Untersuchungen in der UHV-Anlage basieren auf dem Vergleich der gemessenen Gasabgaberaten in der Testkammer vor und nach dem Einschleusen des Testobjekts. Je nach Form des Testobjekts kann entweder die flächenbezogene Gasabgaberate in mbar∙l/s∙m² oder die gesamte Gasabgaberate in mbar∙l/s bestimmt werden. Die Messungen erfolgen i.d.R. über einen Zeitraum von 1-2 Wochen, um zusätzliche Informationen über die zeitliche Entwicklung der Gasabgaberaten zu erhalten. Begleitend werden Messungen mit einem Massenspektrometer im Bereich 1-512 u durchgeführt. Dies liefert wertvolle Erkenntnisse über eventuelle Ursachen der gemessenen Gasabgaberate (z.B. im Bauteil eingeschlossene Luftvolumen, Rückstände von Reinigungsmitteln oder Ausgasung von verwendeten Materialien).
Die UHV-Anlage ist durch die Deutsche Akkreditierungsstelle DAkkS für das angewendete Testverfahren nach DIN EN ISO/IEC 17025:2005 akkreditiert.